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一站式微流控PDMS芯片加工设备

---提供加工SU-8模具和PDMS芯片的全部产品---


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现在任何实验室在不要超净室的情况下都可以加工SU-8模具和PDMS芯片
●    节省时间:我们提供并安装您实验室中的所有设备
●    易于使用:通过我们的P&P仪器和培训,一周后您就可以在您的实验室内加工PDMS芯片
●    节省空间:相当于3平方米的传统洁净室
●    高分辨率:达到与无尘超净室内的相同分辨率

一站式软光刻设备包包括实验室内加工模具和复制PDMS芯片所需要的一切。该包包括所有设备和支持自主加工微流控芯片。

一站式软光刻设备包是一个交钥匙工程,不需要购买任何附加设备。基本上只需要一个化学通风厨和一个小工作空间。我们根据您的需求来一起调整设备包的组成。

特点&优势
●    达到与无尘室中相同的图案分辨率
●    获得许多后续PDMS模具的强光阻图案
●    稳定可靠的流程可轻松实现重复性
●    即使没有微加工的初步知识,也可以加工您的模具。
●    获得最好的设备以便确保您的设备有较长的使用寿命
●    高度可重复的芯片加工工艺
●    快速加工工艺并在24小时内生产您的芯片
●    充分利用我们在软光刻工艺方面的知识

包括
仪器:
●    完整的空气等离子系统
●    用于快速PDMS固化的烤箱
●    用于PDMS脱气的干燥器
●    可编程旋涂机
●    紫外灯——LED曝光
●    可编程热板
●    。。。

附件:


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包括所有实验配件(硅片、镊子、载玻片、培养皿、一次性杯子、搅拌棒、解剖刀等)。我们为您提供所有产品的参考信息和供应商信息以填充您的库存。

化学试剂:


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包括所有化学品(SU8、粘附促进剂、SU8显影剂、异丙醇、丙酮等)。我们为您提供所有产品的参考信息和供应商信息以填充您的库存。


如下是对PDMS芯片加工设备的简要介绍
等离子清洗器

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第一个专为PDMS键合设计的等离子清洗器,这种自动化等离子可以轻松加工您的PDMS微流体器件。由于其采用真空反馈回路,所以,该等离子清洗器可自动调节腔室内的真空而无需手动调节。


主要优势
便于PDMS键合的自动压力调节
用于随时间重现过程的低压漂移量表
安全的真空泵以避免污染等离子室
三种射频功率可用
数字真空计
与3-6英寸晶圆兼容的精细真空调节

烘箱

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传统干燥箱,前面板带有双金属流体膨胀探头热调节器。这款4英寸晶圆的烘箱可让您高效的键合PDMS芯片。事实上,它的大小适用于培养皿的尺寸,一次可加热两个模具。其最小的占地面积可实现快速预热和较小的电耗。这是一个真正可以移动的设备,可以随处安装。


主要优势
使用方便
铝制内腔可以更好的散热
用于排气的进入腔室内的可调流量的空气
适用于15毫米培养皿的占用空间
两个内部的架子
加热时发出轻微警告
从1 min到120 min的计时器

旋涂机

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这款旋涂机结构紧凑且具有先进的功能,适用于直径最大到150 mm的晶圆和127 mm × 127 mm的基材。该旋涂机可对可控且重复性的PDMS层进行精细的调节。其紧凑的尺寸可使该设备实现真正的移动。此外,盖子上的孔允许进行动态PDMS涂层。

主要优势:
专为易用性而设计
从操作面板或PC上进行简单的编程
能够以多种加速度和速度来设置复杂的序列
易于清洁
延长使用寿命的非堵塞系统
低振动
可到12000 rpm的速度
提供晶圆定心工具

紫外灯

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这种紫外灯是一个非常紧凑的台式系统,能够曝光直径达4英寸晶圆的表面区域。这种自动紫外线系统兼容硬(物理)或软(接近)掩膜接触,并且具有可变掩膜到基底距离控制功能。

在2μm分辨率下,该仪器特别适用于软光刻的应用。闪光曝光能够减少光致抗蚀剂的内部机械应力。其小尺寸可以安装在任何你想要的地方,尤其是在洁净室外。

主要优势:
在整个晶圆表面区域(带宽低于10nm)进行完美的单色曝光
冷紫外曝光
光的发散角小于2°
强大的功率密度
长寿命LED:超过10,000小时,相当于8-10年的使用寿命
LED的快速打开/关闭开关按钮允许对光刻胶进行闪光操作
用于曝光循环编程操作的用户友好的触摸屏界面
不需要预热时间
紫外光源强度的直观控制
自动化的晶圆装载和卸载系统
可使用玻璃和塑料光罩
定向紫外光束
UV功率的时间没有变化
4英寸晶圆上的高度UV均匀性
集成的UV测量仪

热板

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确保准确、均匀和稳定的温度设定点。该数字热板设备可以设置加热和冷却的温度斜坡。通过其可编程控制(可使您的光刻过程自动化)可让您的生活更轻松。

其铝制顶板及其大面积的加热表面能够在温度均匀的足够宽的区域内有效地烘烤4英寸晶圆上的SU-8光刻胶。温度斜坡能够减小光刻胶层内的机械应力。

主要优势
用于加热和冷却的温度斜坡
4英寸晶圆上的高温均匀性
没有随时间的温度传感器漂移
微处理器显示保持一致的湿度
最小的温度过冲
自动计时器
易于光刻胶清洁的平滑铝板
直接从PC上控制时间计数、温度和设定点。

辅助设备


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      空气压缩机                         显影仪                          超声浴清洗器                       真空泵


一站式微流控PDMS芯片加工设备列表


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