UV紫外曝光系统
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UV紫外曝光系统

高分辨率UVK3紫外曝光机

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UVK3有一个完全自动的紫外线曝光室,可产生角度小于2°的高度准直的紫外线。使用UV LED,无需加热或冷却时间,并且LED灯的使用寿命超过10000小时。智能化的操作界面简化了紫外曝光的操作过程,您只需要按照屏幕上的指示进行操作即可。UVK3紫外曝光机的分辨率为2μm,可满足95%的微流体应用。

优势
(1)高分辨率低至2μm
(2)高紫外线功率曝光
(3)完全可调的时间和功率
(4)易于使用
(5)提供软光刻工艺的全部知识

技术支持
我们为我们供应的所有设备提供高水平的技术支持,同时也为紫外曝光前后的相关微加工步骤提供支持。除了在整个过程中帮助您提供一部分支持外,我们还可以在所有加工过程中为您提供指导。

技术规格
(1)UVK3通常适用于4英寸晶圆,但可用于较小的基板。
(2)可以使用塑料面罩粘贴在纯硼硅玻璃上
(3)UVK3可与5英寸玻璃面罩配合使用,但如果需要,可添加4英寸适配器。
(4)UVK3可以以连续或脉冲的模式工作
(5)标称功率约为50mW/cm2,可根据用途在0%到100%之间进行调整。
(6)设备内部安装有一个紫外线计,可以随时控制紫外灯的功率。


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