UV紫外曝光系统
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UV紫外曝光系统

具有对准功能的UVK9紫外线曝光机(三维结构)

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带有对准功能的高分辨率紫外线灯-UVK9
UVK9有一个完全自动的紫外线曝光室,具有高度准直的紫外线(准直度<2°)。使用UV LED等,无需加热或冷却时间,且LED灯的使用寿命超过10000小时。智能界面简化了曝光过程,您只需要按照屏幕上的指示进行操作即可。UVK9具有5μm精度的对准功能和2μm的分辨率,与无尘室中的任何紫外线曝光系统相似,但仍是台式设备,可以安装在任何地方,尤其是在无尘室外部。

优势
(1)高分辨率低至2μm
(2)高紫外线功率曝光
(3)完全可调的时间和功率
(4)易于使用
(5)5μm对准
(6)提供软光刻工艺的全部知识

模具对准!
UVK9实际上类似于UVK3,但是其可在UV曝光之前在掩模和晶圆之间进行对齐。

的确,借助操纵杆,您将能够以5μm的分辨率将掩模对准第一光刻胶层。对准操作很容易很容易在四个自由度上完成,所有移动都可以通过视频辅助定位系统进行检查。

凭借UVK9紫外曝光机,您可以在同一个模具上加工不同的厚度层,如生物领域,首先要有一个较小的通道(高度约5μm),较大的通道接近样品的尺寸(高度约40μm)。

您也可以通过关闭通道并在某个精确位置打开流体连接来在光刻胶中创建硬质器件。

技术支持
我们为我们供应的所有设备提供高水平的技术支持,同时也为紫外曝光前后的相关微加工步骤提供支持。除了在整个过程中帮助您提供一部分支持外,我们还可以在所有加工过程中为您提供指导。

技术规格
(1)UVK9是紧凑的对准式UV曝光系统(475×475×478 mm)
(2)UV LED灯的波长为365nm,使用寿命长达10000个小时。
(3)像UVK3一样,发散角确实小于2°,而且在4英寸晶圆的整个表面上的曝光均匀性都优于5%。
(4)UVK9可以在掩膜模式下进行真空接触



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